728x90 반응형 SMALL ATL2 KLA ATL과 경쟁사 ASML YieldStar DBO: 첨단 반도체 계측 기술의 차이점 반도체 기술이 점점 더 미세화됨에 따라, 정확하고 정밀한 계측 장비의 중요성은 갈수록 커지고 있습니다. 그중 KLA의 ATL은 최첨단 레이저 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼의 정렬 상태를 측정하는 고성능 장비입니다. 이 글에서는 ATL의 기술적 특징을 설명하고, ASML의 경쟁 장비인 YieldStar DBO와 비교해 보겠습니다.1. KLA ATL200의 특징KLA ATL은 Accurate Tunable Laser(정밀 가변 레이저) 기술을 활용하여 미세한 오버레이(overlay) 오차를 측정합니다. 여기서 오버레이란 반도체 칩을 구성하는 여러 레이어가 정확히 정렬되어 있는지를 나타내는 지표입니다. ATL은 1nm 이하의 해상도를 지원하며, 다양한 파장의 레이저를 사용해 더 풍부한 계측 데이터를 제공합니.. 2024. 11. 18. KLA의 ATL(accurate tunable laser): 반도체 계측기술 반도체 제조 과정은 아주 미세하고 정밀한 작업이 필요합니다. 오늘은 그 과정에서 매우 중요한 역할을 하는 장비, KLA의 ATL(Accurate Tunable Laser, 정밀 조절 레이저)에 대해 쉽게 설명해 드릴게요.1. KLA ATL은 무엇인가요?KLA의 ATL은 반도체 웨이퍼 위에 있는 회로 패턴의 정렬 상태를 측정하는 장비입니다. 반도체 회로를 구성하는 여러 층은 아주 정밀하게 맞물려야 하기 때문에, 층 간의 작은 오차도 칩 성능에 영향을 줄 수 있습니다. ATL은 이런 미세한 정렬 오차를 정확히 감지하는 데 탁월합니다. 2. ATL의 작동 원리ATL은 스캐터로미터(Scatterometry) 기반 계측 장비로, 레이저 광선을 웨이퍼에 쏘아 패턴에서 반사되는 빛을 분석합니다. 이 과정에서 ATL은.. 2024. 11. 18. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
